Studium mikrokristalického křemíku pomocí kombinovaného AFM mikroskopu

0134384 - FZU-D 20030282 RIV CZ cze C - Conference Paper (international conference)
Mates, Tomáš - Fejfar, Antonín - Rezek, Bohuslav - Fojtík, Petr - Drbohlav, Ivo - Luterová, Kateřina - Pelant, Ivan - Kočka, Jan
Studium mikrokristalického křemíku pomocí kombinovaného AFM mikroskopu.
[Study of microcrystalline silicon by combined AFM microscope.]
Sborník příspěvků. Konference českých a slovenských fyziků /14./. Plzeň: Západočeská univerzita, 2002 - (Baroch, P.; Kubásek, M.; Potocký, Š.), s. 363-368. ISBN 80-7082-907-9.
[Konference českých a slovenských fyziků /14./. Plzeň (CZ), 09.09.2002-12.09.2002]
R&D Projects: GA AV ČR IAA1010809; GA AV ČR IAB2949101
Institutional research plan: CEZ:AV0Z1010914
Keywords : atomic force microscopy * silicon * thin films
Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism

V příspěvku jsou prezentovány aktuální výsledky z kombinovaného AFM a ja ukázána souvislodt mezi mikrostrukturou a mikroelektrickými vlastnostmi.

Recent results by combined AFM (topography and local conductivity) and correlation between microstructure and electrical properties of thin silicon films.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0032288