Number of the records: 1
Hardness, intrinsic stress, and structure of the a-C and a-C:H films prepared by magnetron sputtering
SYS 0133370 LBL 00000nam^^22^^^^^^^^450 005 20210803155043.5 101 0-
$a eng 102 $a CH 200 1-
$a Hardness, intrinsic stress, and structure of the a-C and a-C:H films prepared by magnetron sputtering 215 $a 6 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0256495 $1 011 $a 0925-9635 $e 1879-0062 $1 200 1 $a Diamond and Related Materials $v Roč. 10, - (2001), s. 1076-1081 $1 210 $c Elsevier 610 1-
$a diamond-like carbon 610 1-
$a structure 610 1-
$a stress 610 1-
$a hardness 700 -1
$3 cav_un_auth*0038105 $a Kulikovsky $b V. $y UA $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0100140 $a Boháč $b Petr $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100204 $a Franc $b František $p FZU-D $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0038106 $a Deineka $b Alexander $p FZU-D $w Optical and Biophysical Systems $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100614 $a Vorlíček $b Vladimír $p FZU-D $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100259 $a Jastrabík $b Lubomír $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Number of the records: 1