Detection of angular distribution of signal electrons in low-voltage SEM

Number of the records: 1

1.

SYSNO	0109026
Title	Detection of angular distribution of signal electrons in low-voltage SEM
Title	Detekce úhlového rozložení signálních elektronů v nízkoenergiovém REM
Author(s)	Vlček, Ivan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Lencová, Bohumila (UPT-D)_{RID, SAI} Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Source Title	EMC 2004 - Proceedings of the 13th European Microscopy Congress, 1 - Instrumentation & Methodology.. s. 337-338. - Liege : Belgian Society for Microscopy, 2004
Conference	EMC 2004 /13./ European Microscopy Congress, Antwerp, 22.08.2004-27.08.2004
Document Type	Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Grant	GA202/03/1575 GA ČR - Czech Science Foundation (CSF)
Language	eng
Country	BE
Keywords	low energy SEM * Wien filter * CCD detector
Permanent Link	http://hdl.handle.net/11104/0016138

Number of the records: 1