0104240 - FZU-D 20040582 RIV US eng J - Journal Article
Pavlíček, Pavel - Soubusta, Jan
Theoretical measurement uncertainity of white-light interferometry on rough surfaces.
[Teoretická nejistota měření interferometrie v bílém světle na drsných površích.]
Applied Optics. Roč. 42, č. 10 (2003), s. 1809-1813. ISSN 0003-6935
R&D Projects: GA MŠMT LN00A015
Keywords : white-light interferometry
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers
Impact factor: 1.534, year: 2003

A great advantage of the white-light interferometry is that it can be used for profile measurement of objects with a rough surface. A speckle pattern that arises in the image plane allows one to observe the interference; however, this pattern is also the source of the measurement uncertainty. We derive the theoretical limits of the longitudinal uncertainty by virtue of the first-order statistics of the speckle pattern

Velkou výhodou interferometrie v bílém světle je, že může být použita pro měření výškového profilu předmětu s drsným povrchem. Speklový obrazec, který se objeví v obrazové rovině, umožňuje pozorovat interference, zároveň však je tento obrazec zdrojem nejistoty měření. Odvodili jsme teoretické meze podélné nejistoty měření pomocí statistiky prvního řádu speklového obrazce
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0011515