Number of the records: 1
Micromaching of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source
- 1.
SYSNO 0100716 Title Micromaching of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source Title Mikrostrukturování povrchu organických polymerů přímým fotoleptáním s využitím laserového plazmatu jako rtg zdroje Author(s) Fiedorowicz, H. (PL)
Bartnik, A. (PL)
Bittner, Michal (FZU-D)
Juha, Libor (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Krása, Josef (FZU-D) RID, ORCID
Kubát, Pavel (UFCH-W) RID, ORCID, SAI
Mikolajczyk, J. (PL)
Rakowski, R. (PL)Source Title Microelectronic Engineering. 73-74, - (2004), s. 336-339. - : Elsevier Document Type Článek v odborném periodiku Grant KSK2043105 GA AV ČR - Academy of Sciences of the Czech Republic (AV ČR) Language eng Country NL Keywords microstructures * photo-etching * X-rays Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0008209
Number of the records: 1