0100716 - FZU-D 20040439 RIV NL eng J - Journal Article
Fiedorowicz, H. - Bartnik, A. - Bittner, Michal - Juha, Libor - Krása, Josef - Kubát, Pavel - Mikolajczyk, J. - Rakowski, R.
Micromaching of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source.
[Mikrostrukturování povrchu organických polymerů přímým fotoleptáním s využitím laserového plazmatu jako rtg zdroje.]
Microelectronic Engineering. 73-74, - (2004), s. 336-339. ISSN 0167-9317. E-ISSN 1873-5568
R&D Projects: GA AV ČR KSK2043105
Keywords : microstructures * photo-etching * X-rays
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers
Impact factor: 1.514, year: 2004

The first experiments on direct photo-etching of organic polymers using a laser plasma X-ray source based on a laser-irradiated gas puff target are presented. The results show relatively high efficiency of X-ray direct photo-etching that could be used for micromaching of organic polymers

Bylo demonstrováno přímé mikrostrukturovaní organických polymerů rentgenovým zářením z laserového plazmatu v plynové trysce. Výsledky ukazují relativně vysokou účinnost ablace rentgenovým zářením a její použitelnost pro strukturování organických polymerů

Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0008209