0100119 - FZU-D 20040099 RIV US eng C - Conference Paper (international conference)
Pavlíček, Pavel
Height profile measurement by means of white light interferometry.
[Měření výškového profilu pomocí interferometrie v bílém světle.]
Wave and Qantum Aspects of Contemporary Optics. Washington: SPIE The International Society for Optical Engineering, 2003 - (Zajac, M.; Masajada, J.), s. 139-144. SPIE - The International Society for Optical Engineering., 5259. ISBN 0-8194-5146-0. ISSN 0277-786X.
[Polish-Czech-Slovak Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics /13./. Krzyzowa (PL), 09.09.2002-13.09.2002]
R&D Projects: GA MŠMT LN00A015
Institutional research plan: CEZ:AV0Z1010921
Keywords : white-light interferometry * height profile * rough surface * speckle pattern
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers

White-light interferometry allows to measure the height profile of smooth as well as of rough surface. A very low measurement uncertainty is independent on the measurement range, the ambiguity problem does not occur

Interferometrie v bílém světle umožňuje měření výškového profilu jak drsných tak i hladkých povrchů. Velmi nízká nejistota měření je nezávislá na měřícím rozsahu a zároveň je odstraněn problém nejednoznačnosti měření
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0007625