0094363 - ÚPT 2008 RIV ES eng M - Monography Chapter
Müllerová, Ilona - Frank, Luděk
Very Low Energy Scanning Electron Microscopy.
[Rastrovací elektronová mikroskopie na velmi nízkých energiích.]
Modern Research and Educational Topics in Microscopy. Vol. 2. Badajoz: Formatex, 2007 - (Méndez-Vilas, A.; Diaz, J.), s. 795-804. Microscopy series, 3. ISBN 978-84-611-9420-9
R&D Projects: GA ČR GA102/05/2327; GA ČR GA202/04/0281
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : electron optics * scanning electron microscopy * low energy electrons * cathode lens mode * surfaces
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

The method of very low energy scanning electron microscopy below about 50 eV is treated in full, starting from physics of interaction of very slow electrons with solids, through principle of deceleration of the primary electron beam in the SEM by means of the cathode lens and properties of this assembly, description of contrast mechanisms, up to presentation of results of demonstration experiments performed on families of samples important in various branches of materials science.

Metoda rastrovací elektronové mikroskopie na velmi nízkých energiích pod cca 50 eV je souhrnně pojata počínaje fyzikou interakce velmi pomalých elektronů s pevnou látkou, přes princip zpomalení primárního elektronového svazku v SEM pomocí katodové čočky a vlastnosti této kombinace, popis kontrastních mechanismů, až po prezentaci výsledků demonstračních experimentů provedených na třídách vzorků důležitých pro jednotlivé oblasti materiálových věd.

Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0154189