Výpočty korektorů otvorové vady v elektronové optice

0049033 - ÚPT 2007 RIV CZ cze J - Journal Article
Lencová, Bohumila
Výpočty korektorů otvorové vady v elektronové optice.
[The computations of correctors of spherical aberration in electron optics.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 51, č. 10 (2006), s. 263-266. ISSN 0447-6441
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : pptics of charged particles * computation of electromagnetic field * finite element method * correction of spherical aberration in electron microscopy
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

Článek podává stručný přehled výpočetních metod používaných v ÚPT AV ČR pro návrh elektronově optických zařízení. Možnosti programového vybavení jsou pak ilustrovány na výpočtech korektorů otvorové vady pro prozařovací a rastrovací elektronové mikroskopy.

The paper gives a brief overview of computational method used in the Institute of Scientific Instruments of AS CR for the design of electron optical devices. The possibilities of the software are then illustrated on the computations of correctors of spherical aberration for transmission and scanning electron microscopes.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0139530