Number of the records: 1
Výpočet aberačních koeficientů regresí a jejich využití při výpočtu proudové hustoty svazků
- 1.
SYSNO ASEP 0028804 Document Type J - Journal Article R&D Document Type Journal Article Subsidiary J Ostatní články Title Výpočet aberačních koeficientů regresí a jejich využití při výpočtu proudové hustoty svazků Title Computation of aberration coefficients by fitting and their use for calculation of current density in beams Author(s) Oral, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI Source Title Jemná mechanika a optika. - : Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. - ISSN 0447-6441
Roč. 50, č. 2 (2005), s. 49-51Number of pages 3 s. Language cze - Czech Country CZ - Czech Republic Keywords scanning ion microscope ; electron optics ; spot profiles Subject RIV BM - Solid Matter Physics ; Magnetism R&D Projects KJB2065405 GA AV ČR - Academy of Sciences of the Czech Republic (AV ČR) Annotation Článek popisuje postup výpočtu aberačních koeficientů regresí. Podmínkou k výpočtu je dostupnost analytického vyjádření optických vad, které se vyžívá nejen při samotné regresi, ale i následně pro rychlý výpočet poloh částic za optickým systémem, například pro získání profilů svazků. Metoda je ilustrována na výpočtu proudové hustoty ve vychýleném svazku iontů. Description in English The paper describes a method of calculation of aberration coefficients by regression (fitting). A prerequisite for the calculation is knowledge of an analytical expression of optical aberrations, which is used not only for fitting, but also for a fast computation of particle positions behind an optical system, e. g. for evaluation of a beam profile. The method is illustrated on computation of current density profiles in a deflected ion beam. Workplace Institute of Scientific Instruments Contact Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Year of Publishing 2006
Number of the records: 1