Elektronová litografie pro nanotechnologie

Number of the records: 1

1.

SYSNO	0026426
Title	Elektronová litografie pro nanotechnologie
Title	Electron beam lithography for nanotechnology
Author(s)	Výborný, Zdeněk (FZU-D)
Source Title	Jemná mechanika a optika. Roč. 50, 11-12 (2005), s. 313-318. - : Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Document Type	Článek v odborném periodiku
CEZ	AV0Z10100521 - FZU-D (2005-2011)
Language	cze
Country	CZ
Keywords	lithography * photolithography * electron beam lithography * EBL * nanolithography * nanotechnology * SEM
Permanent Link	http://hdl.handle.net/11104/0116677

Number of the records: 1