Jemná mechanika a optika. - : Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
- ISSN 0447-6441
Roč. 50, 11-12 (2005), s. 313-318
Number of pages
6 s.
Language
cze - Czech
Country
CZ - Czech Republic
Keywords
lithography ; photolithography ; electron beam lithography ; EBL ; nanolithography ; nanotechnology ; SEM
Subject RIV
BM - Solid Matter Physics ; Magnetism
CEZ
AV0Z10100521 - FZU-D (2005-2011)
Annotation
Byly rozpracovány a aplikovány koncepce zařízení EBL od jednoduchých sestav pro laboratorní užití až po průmyslové aparatury pro výrobu fotolitografických masek. Jejich optimální výběr závisí na zaměření pracoviště, jeho výbavě a na vlastnostech zpracovávaných vzorků. Kupříkladu pro badatelské pracoviště orientované na výzkum nanostruktur a jejich diagnostiku je vhodným řešením sestava EBL založená na špičkovém rastrovacím elektronovém mikroskopu (SEM) doplněném o litografický řídicí systém a o přesný stolek s posuvy řízenými laserovými interferometry
Description in English
Several construction types of EBL have been developed and applied from the simplest one based on a laboratory SEM microscope combined with a lithographic attachment up to sophisticated machines for photomasks industrial production. The optimal choice of an EBL apparatus depends on the character of the laboratory, its other equipment and on the types of the samples under research or development. For example an „E-Beam turnkey-solution“ apparatus based on a top SEM together with an optical pattern generator control unit plus laser-interferometer-controlled stage is a good choice for a laboratory specialized in the research of nanostructures technology and diagnostics
