0024653 - FZÚ 2006 RIV CZ eng J - Journal Article
Adámek, P. - Kalčík, J. - Šícha, M. - Tichý, M. - Biederman, H. - Soukup, Ladislav - Jastrabík, Lubomír
Contribution to the application of the Langmuir probe techique for plasma monitoring in the Ar and n-hexane mixture plasma during the polymerisation process.
[Příspěvek k aplikaci Langmuirovy sondy pro monitorování plasmy ze směsi Ar a n-hexanu během procesu polymerace.]
Czechoslovak Journal of Physics. Roč. 49, č. 12 (1999), s. 1685-1700. ISSN 0011-4626
R&D Projects: GA MŠMT(CZ) OC 516.50; GA ČR(CZ) GA202/97/1011; GA ČR(CZ) GA202/98/0116; GA ČR(CZ) GA202/98/0666
Grant - others:GA UK(CZ) 75/98
Institutional research plan: CEZ:AV0Z1010914
Keywords : Langmuir probe * plasma monitoring * average energy of electrons * polymerisation process
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
Impact factor: 0.328, year: 1999

The experimentally obtained probe characteristics were used to determine the density and the average energy of electrons. In the DC magnetron stainless steel reactor the electron average energy in the Ar and n-hexane mixture plasma was about one order of magnitude smaller than in the case in which the working gas inside the reactor was the pure Ar. The probe measurements in the magnetron reactor were supplemented by the experiment in the customary glass discharge tube with a hollow cathode

Experimentálně obdržené charakteristiky sondy byly použity pro stanovení hustoty a průměrné energie elektronů v reaktoru z korozivzdorné oceli s DC magnetronem. Průměrná energie elektronů v plasmě ze směsi Ar a n-hexanu byla asi o jeden řád nižší než v plasmě z čistého argonu. Měření sondou v magnetronovém reaktoru byla doplněna o experimenty v běžné skleněné výbojové trubici s dutou katodou.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0003177