Výzkum a vývoj nového plazma aktivovaného ALD depozičního systému s unikátním zdrojem nízkoteplotního plazmatu na bázi mikrovlnného surfatronu a ECWR výboje
1.
Project
Výzkum a vývoj nového plazma aktivovaného ALD depozičního systému s unikátním zdrojem nízkoteplotního plazmatu na bázi mikrovlnného surfatronu a ECWR výboje.
Project Name
TF03000025
Grant Agency
GA TA ČR
Research years
2016 - 2019
Grant Recipient
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Participants
Čada
Catal.org.
CAV
References
(1) - Článek v odborném časopise
(1) - Prototyp, funkční vzorek
(1) - Užitný vzor, průmyslový vzor
File
Projekty
Number of the records: 1
openseadragon
This site uses cookies to make them easier to browse. Learn more about
how we use cookies.