Number of the records: 1
Zápis tvarovaným elektronovým svazkem
- 1.
SYSNO 0314356 Title Zápis tvarovaným elektronovým svazkem Title Writing System with Shaped Electron Beam Author(s) Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Matějka, František (UPT-D) RID, SAI
Lencová, Bohumila (UPT-D) RID, SAI
Kokrhel, Svatopluk (UPT-D)
Horáček, Miroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Radlička, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Urbánek, Michal (UPT-D) RID
Daněk, Lukáš (UPT-D)Source Title Jemná mechanika a optika. Roč. 53, č. 1 (2008), s. 11-16. - : Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Document Type Článek v odborném periodiku Grant GA102/05/2325 GA ČR - Czech Science Foundation (CSF) CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) Language cze Country CZ Keywords e-beam writing system * shaped electron beam * electron optics column * electron scattering * writing speed Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0164886
Number of the records: 1