Number of the records: 1
Zápis tvarovaným elektronovým svazkem
- 1.
SYSNO ASEP 0314356 Document Type J - Journal Article R&D Document Type Journal Article Subsidiary J Ostatní články Title Zápis tvarovaným elektronovým svazkem Title Writing System with Shaped Electron Beam Author(s) Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Matějka, František (UPT-D) RID, SAI
Lencová, Bohumila (UPT-D) RID, SAI
Kokrhel, Svatopluk (UPT-D)
Horáček, Miroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Radlička, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Urbánek, Michal (UPT-D) RID
Daněk, Lukáš (UPT-D)Source Title Jemná mechanika a optika. - : Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. - ISSN 0447-6441
Roč. 53, č. 1 (2008), s. 11-16Number of pages 6 s. Language cze - Czech Country CZ - Czech Republic Keywords e-beam writing system ; shaped electron beam ; electron optics column ; electron scattering ; writing speed Subject RIV JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering R&D Projects GA102/05/2325 GA ČR - Czech Science Foundation (CSF) CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) Annotation Článek popisuje úpravu původního elektronového litografu BS 600 pracujícího s urychlovacím napětím 15 kV, který prošel v posledních letech výraznou rekonstrukcí. Základní požadavky jsou kladeny na zlepšení rozlišení a zvýšení expoziční rychlosti. Kromě vlastností a dosažených parametrů jsou uvedeny rovněž příklady struktur vytvořených pomocí tohoto systému. Litograf je využíván pro přípravu masek, přímou litografii i realizaci reliéfních struktur. Pro kontrolu realizovaných struktur byl použit mikroskop s rastrující sondou a rastrovací elektronový mikroskop. Description in English The paper describes an improvement of electron beam lithograph BS 600 working with a fixed accelerating voltage of 15 kV and a rectangular shape variable size electron beam. The system has undertaken an important upgrade during last few years. Main goal was to increase the resolution and the writing speed. Achieved parameters and characteristics of the system are described as well as few examples of prepared structures. Workplace Institute of Scientific Instruments Contact Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Year of Publishing 2009
Number of the records: 1