Vytváření jemných otvorů do křemenného skla pomocí elektronového svazku

0049042 - ÚPT 2007 RIV CZ cze J - Journal Article
Dupák, Libor - Dupák, Jan - Zobač, Martin
Vytváření jemných otvorů do křemenného skla pomocí elektronového svazku.
[Creation of Fine Holes into Quartz Glass by Electron Beam.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 51, č. 1 (2006), s. 10-12. ISSN 0447-6441
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : electron beam drilling * quartz glass
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

Tento článek ukazuje možnosti mikroobrábění pulsním elektronovým svazkem při vytváření jemných otvorů do křemenného skla. Je demonstrován vliv různých parametrů elektronového svazku (proud ve svazku, zaostření, délka pulsu). Použité urychlovací napětí bylo 50 kV, proud ve svazku 0,1 – 1 mA, délka pulsu 15-150 ms. Velikost vytvořených otvorů se pohybovala řádově od 10 .mu.m do 1 mm na straně dopadajícího svazku a 1 až 10 .mu.m na protější straně (při tloušťce destičky 0,7 mm).

This paper shows possibilities of micromachining by pulse electron beam for creation of fine holes into quartz glass. The influence of different parameters of electron beam (such as beam current, focus, pulse duration) is demonstrated. Accelerating voltage of 50 kV, beam current of 0.1 – 1 mA and pulse duration of 15 – 150 ms was applied. Diameter of created holes ranged from 10 .mu.m to 1 mm on incident side and from 1 to 10 .mu.m on the opposite side (disc thickness 0.7 mm).
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0139537