Kvantifikace hustoty rozložení dopantu v polovodiči s pomocí REM

Number of the records: 1

1.

SYSNO	0022852
Title	Kvantifikace hustoty rozložení dopantu v polovodiči s pomocí REM
Title	Quantification of the dopant in semiconductor in SEM
Author(s)	Mika, Filip (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID} Frank, Luděk (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID}
Source Title	Mikroskopie 2005. s. 41. - Praha : Československá mikroskopická společnost, 2005
Conference	Mikroskopie 2005, Nové Město na Moravě, 24.2.2005-25.2.2005
Document Type	Konferenční příspěvek (tuzemská konf.)
Grant	GA102/05/2327 GA ČR - Czech Science Foundation (CSF), CZ - Czech Republic
Language	cze
Country	CZ
Keywords	dopant * semiconductor * se kontrast
Permanent Link	http://hdl.handle.net/11104/0111562

Number of the records: 1