Number of the records: 1
Kalibrační standard pro metodu spektroskopii sekundárních elektronů v SEM
- 1.
SYSNO ASEP 0566540 Document Type L - Prototype, Functional Specimen R&D Document Type Prototype, Functional Specimen RIV Subspecies Functional Specimen Title Kalibrační standard pro metodu spektroskopii sekundárních elektronů v SEM Title Calibration standard sample for secondary electron spectroscopy in SEM Author(s) Mika, Filip (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Pokorná, Zuzana (UPT-D) RID, ORCID, SAIYear of issue 2022 Int.Code APL-2022-11 Technical parameters Kalibrační vzorek obsahující mikrometrové struktury s různých materiálů vykazující odlišnou emisivitu sekundárních elektronů. Tloušťka jednotlivých materiálů je 150um a šířka proužků ze stříbra a chromu je 2 respektive 1 um. Economic parameters Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Filip Mika, Ph.D. Owner Name Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Registration Number of the result owner 68081731 Applied result category by the cost of its creation A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč License fee fee A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek Language cze - Czech Country CZ - Czech Republic Keywords test sample ; scanning electron microscope ; secondary electron spectrometer Subject RIV JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering OECD category Materials engineering R&D Projects TN01000008 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) Institutional support UPT-D - RVO:68081731 Annotation Vzorek s litografickou strukturou bude sloužit ke kalibraci metody spektroskopie sekundárních elektronů s nanometrovým rozlišením v SEM. Bude obsahovat přesně definované oblasti jak plošně, tak do hloubky. Materiál oblastí bude volen tak, aby bylo možné nastavit parametry analýzy a snadno úhlově a energiově rozlišit získaný signál sekundárních elektronů. Description in English The sample with a dedicated structure fabricated by electron beam lithography will be used in SEM for the calibration of nanometre-resolution secondary electron spectroscopy. It will contain areas of a precisely defined depth, width and materials composition allowing the observer to fine-tune the parameters of the analysis and easily resolve the secondary electron signal both in energy and angle. Workplace Institute of Scientific Instruments Contact Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Year of Publishing 2023
Number of the records: 1