SMV-2019-63: Systém pro kalibraci měřícího systému PAZ

0519600 - ÚPT 2020 RIV CZ cze V - Research Report
Mikel, Břetislav
SMV-2019-63: Systém pro kalibraci měřícího systému PAZ.
[SMV-2019-63: Calibration system of PAZ measuring system.]
Brno: ÚJV Řež a.s., 2019. 12 s.
Source of funding: N - Non-public resources
Keywords : laser interferometry * Michelson interferometer * environmental error compensation of interferometer
OECD category: Electrical and electronic engineering

Kalibrační měřící systém je určen pro kalibraci měřícího systému PAZ. Umožňuje interferometricky měřit vzdálenost až 3500 mm s chybou +- 5 um. Využívá metody inkrementální laserové interferometrie. Systém se skládá z několika základních komponent - nosné pojezdové lavice, motorizované posuvné měřící platformy, statické platformy, He-Ne laseru, řídící elektroniky a řídícího PC. Celý systém je vybaven třemi senzory teploty podél měřené trasy, jedním senzorem vlhkosti a jedním senzorem tlaku, které jsou využívány ke kompenzaci měřené vzdálenosti laserovými interferometry.

Calibration measuring system is designed for calibration of PAZ measuring system. It allows to measure distances up to 3500 mm with an error of + - 5 µm. It uses incremental laser interferometry method. The system consists of several basic components - supporting traveling benches, motorized sliding measuring platforms, static platforms, He-Ne laser, control electronics and control PC. The whole system is equipped with three temperature sensors along the measured path, one humidity sensor and one pressure sensor, which are used to compensate the measured distance by laser interferometers.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0304589