Number of the records: 1
Nanolitografie a kompenzace magnetického pole v prostředí s průmyslovým rušením
- 1.
SYSNO 0370933 Title Nanolitografie a kompenzace magnetického pole v prostředí s průmyslovým rušením Title Nanolithography and Magnetic Field Cancellation in the Industrial Area Author(s) Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Matějka, František (UPT-D) RID, SAI
Horáček, Miroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Urbánek, Michal (UPT-D) RIDSource Title Jemná mechanika a optika. Roč. 56, 11-12 (2011), s. 312-316. - : Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Document Type Článek v odborném periodiku Grant ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS) FR-TI1/576 GA MPO - Ministry of Industry and Trade (MPO) CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) Language cze Country CZ Keywords E-beam writer with a shaped beam * magnetic field cancelling system * electron optics column * nanolithography * nanotechnology Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0204605
Number of the records: 1