Wien Filter Electron Optical Characteristics Determining Using Shadow Projection Method

0315450 - ÚPT 2009 RIV CZ eng C - Conference Paper (international conference)
Horáček, Miroslav - Vlček, Ivan - Zobač, Martin
Wien Filter Electron Optical Characteristics Determining Using Shadow Projection Method.
[Měření elektronově-optických vlastností Wienova filtru stínovou metodou.]
Proceedings of the 11th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno: Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2008 - (Mika, F.), s. 47-48. ISBN 978-80-254-0905-3.
[International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /11./. Skalský dvůr (CZ), 14.07.2008-18.07.2008]
R&D Projects: GA AV ČR IAA100650803
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : Wien filtr * two-grid shadow method * shadow method with grid and moving screen
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

Wien filter is suitable for the separation of the primary and the signal electron beams in very low energy scanning electron microscope with cathode lens. We have modified the two-grid shadow method to determine experimentally electron optical properties (cardinal elements and aberrations) of the Wien filter, which is not a rotationally symmetric element. We call the modified method the shadow method with grid and moving screen. The advantage of the shadow method is its geometrical simplicity allowing the comparison of the experimentally obtained and numerically computed trajectories.

Wienův filtr je možné použít jako separátor primárního a signálního svazku elektronů ve velmi nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu s katodovou čočkou. Abychom mohli experimentálně určit elektronově-optické vlastnosti Wienova filtru, který je rotačně nesymetrickým prvkem, modifikovali jsme stínovou dvoumřížkovou metodu na metodu s mřížkou a pohyblivým stínítkem. Výhodou této metody je její geometrická jednoduchost, která umožňuje porovnání experimentálně získaných a numericky spočítaných trajektorií.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0165649