Number of the records: 1
Kryo-stolek a antikontaminátor pro FIB-SEM
- 1.
SYSNO ASEP 0566637 Document Type L - Prototype, Functional Specimen R&D Document Type Prototype, Functional Specimen RIV Subspecies Functional Specimen Title Kryo-stolek a antikontaminátor pro FIB-SEM Title Cryo-stage and anti-contaminator for FIB-SEM Author(s) Láznička, Tomáš (UPT-D) ORCID, RID, SAI
Krutil, Vojtěch (UPT-D) ORCID, RID, SAI
Krzyžánek, Vladislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Hrubanová, Kamila (UPT-D) RID, SAI, ORCIDYear of issue 2022 Int.Code APL-2022-24 Technical parameters Kryo-stolek umožňující uchycení komerčního držáku vzorku je k posuvnému mechanismu mikroskopu připevněn pomocí centrovacích kolíků a jednoho šroubu uprostřed stolku. Otvor pro hlavičku šroubu je průchozí skrz držák, takže není nutné rozebírat celý stolek. Část stolku, do které se upevňuje držák vzorku je připevněna ke spodní podložce pomocí čtyř sloupků Antikontaminační štít vzorku je připevněn ke spodní podložce dvěma podobnými, delšími sloupky. Antikontaminační štít může být pomocí chladovodu připojen zjednodušenou cestou buď k velkému antikontaminačnímu štítu ze zadní strany nebo přímo na palec (k držáku nebo chladovodu vedoucí od palce) chladící Dewarovy nádoby. Součástí systému je měřič teploty připojený k pravé části, z levé části je připojen ohřívač, kterým můžeme regulovat teplotu vzorku. Systém je schopen dosáhnout teoretické teploty 81 K. Posuvný mechanismus i se stolkem mikroskopu je schopný náklonu do 52°, který slouží pro náklon vzorku ve směru k iontovému svazku pro kolmé obrábění svazkem k povrchu vzorku. Economic parameters Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Kamila Hrubanová, Ph.D., hrubanova@isibrno.cz. Owner Name Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Registration Number of the result owner 68081731 Applied result category by the cost of its creation A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč License fee fee N - Poskytovatel licence nepožaduje licenční poplatek Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no., APL-2022-24 Language cze - Czech Country CZ - Czech Republic Keywords Cryo-SEM ; electron microscopy ; FIB-SEM Subject RIV JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering OECD category Electrical and electronic engineering R&D Projects TN01000008 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) Institutional support UPT-D - RVO:68081731 Annotation Funkčním vzorkem je stolek mikroskopu pro umístění držáku hluboce zamražených vzorků a jejich analýzu při pozorování v rastrovacím elektronovém mikroskopu za kryogenních teplot (cryo-SEM). Rastrovací elektronový mikroskop vybavený fokusovaným iontovým svazkem (FIB-SEM) může být díky stolku použit i pro mikro obrábění různých typů vzorků v kryogenních podmínkách. Současný stolek je vybaven mechanismem pro uchycení držáku vzorků založeného na komerčním systému typu Bal-Tec nebo Leica microsystems a také anti kontaminačním štítem pro zachytávání nečistot, které by jinak dopadly na vzorek a způsobily kontaminaci jeho povrchu. Description in English The functional sample is a microscope stage allowing placing the holder containing deep-frozen samples and analysing them during observation in a scanning electron microscope at cryogenic temperatures (cryo-SEM). Moreover, thanks to the stage a scanning electron microscope equipped with a focussed ion beam (FIB-SEM) can also be used for micromachining various types of samples at cryogenic conditions. The current stage is equipped with a mechanism for attaching a sample holder based on a commercial system like Bal-Tec or Leica microsystems, as well as an anti-contamination shield for picking up impurities that could cause contamination of the sample surface. Workplace Institute of Scientific Instruments Contact Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Year of Publishing 2023
Number of the records: 1