Number of the records: 1
Plazmová aparatura pro povlakování dutých komponent
- 1.
SYSNO ASEP 0485925 Document Type L - Prototype, Functional Specimen R&D Document Type Prototype, Functional Specimen RIV Subspecies Functional Specimen Title Plazmová aparatura pro povlakování dutých komponent Title Plasmatic system for coatings of hollow substrates Author(s) Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Tvarog, Drahoslav (FZU-D) ORCID
Kšírová, Petra (FZU-D) RID, ORCID
Klinger, Miloslav (FZU-D) ORCIDYear of issue 2017 Int.Code FVG1/FZU/2017 Technical parameters Generace plazmatu: dutá katoda, druh výboje: RF/DC/DC-pulzní, výkon v plazmatu: max 150 W, průtok argonu: 50-250 sccm, pracovní tlak: 1-20 Pa. Délka povlakované trubky: max 200 mm. Economic parameters Plazmová depoziční aparatura byla vyvinuta v rámci projektu GAMA TAČR a bude nabídnuta průmyslovým partnerům jako technologie pro povlakování strojních komponent. Owner Name Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Registration Number of the result owner 68378271 Applied result category by the cost of its creation A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč Use by another entity A - Pro využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence License fee fee A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek Language cze - Czech Country CZ - Czech Republic Keywords sputtering ; thin films ; plasma ; deposition ; hollow cathode Subject RIV BL - Plasma and Gas Discharge Physics OECD category Fluids and plasma physics (including surface physics) R&D Projects TG02010056 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) Institutional support FZU-D - RVO:68378271 Annotation V rámci řešení projektu TAČR GAMA jsme vyvinuli plasmatický systém pro depozici tenkých vrstev do dutých substrátů.
Description in English Plasmatic deposition system was developed as a result of TACR project for deposition of thin films into hollow substrates.
Workplace Institute of Physics Contact Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Year of Publishing 2018
Number of the records: 1