Number of the records: 1

SMV-2017-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM

SYSNO ASEP	0483401
Document Type	V - Research Report
R&D Document Type	V - Research Report
Title	SMV-2017-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM
Title	SMV-2017-06: Development of test specimens for SEM
Author(s)	Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Meluzín, Petr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Král, Stanislav (UPT-D)_{RID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Knápek, Alexandr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Number of authors	8
Issue data	Brno: TESCAN, 2017
Number of pages	6 s.
Publication form	Print - P
Language	cze - Czech
Country	CZ - Czech Republic
Keywords	relief structure ; e-beam lithography ; silicon etching ; microlithography
Subject RIV	BH - Optics, Masers, Lasers
OECD category	Nano-processes (applications on nano-scale)
Next source	Non-public resources
Annotation	Vývoj v oblasti realizace přesných reliéfních struktur v křemíku určených pro testování zobrazování v rastrovacích elektronových mikroskopech (REM).
Description in English	Research and development in the field realization of precise relief structures in the silicon dedicated to the testing of the scanning electron microscopes (SEM) deflection field and accuracy.
Workplace	Institute of Scientific Instruments
Contact	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Year of Publishing	2018

Number of the records: 1