Number of the records: 1

SMV-2016-03: Přesné reliéfní struktury

SYSNO	0468373
Title	SMV-2016-03: Přesné reliéfní struktury
Document part	SMV-2016-03
Title	SMV-2016-03: Precise relief structures
Author(s)	Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Meluzín, Petr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Král, Stanislav (UPT-D)_{RID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Fořt, Tomáš (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Oulehla, Jindřich (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Šerý, Mojmír (UPT-D)_{RID, SAI}
Issue data	Brno: TESCAN Brno s.r.o., 2016
Document Type	Výzkumná zpráva
Grant	Non-public resources
Language	cze
Country	CZ
Keywords	relief structure * e-beam lithography * silicon etching * microlithography
Permanent Link	http://hdl.handle.net/11104/0266242

Number of the records: 1