Number of the records: 1
Nano modifikace hrotu W(100)/ZrO elektronového emitéru reaktivním iontovým leptáním
- 1.
SYSNO ASEP 0385754 Document Type J - Journal Article R&D Document Type Journal Article Subsidiary J Ostatní články Title Nano modifikace hrotu W(100)/ZrO elektronového emitéru reaktivním iontovým leptáním Title Nano Modification of the W(100)/ZrO Electron Emitter Tip Using Reactive Ion Etching Author(s) Horáček, Miroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Matějka, František (UPT-D) RID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Urbánek, Michal (UPT-D) RIDNumber of authors 5 Source Title Jemná mechanika a optika. - : Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. - ISSN 0447-6441
Roč. 57, č. 10 (2012), s. 278-280Number of pages 3 s. Language cze - Czech Country CZ - Czech Republic Keywords electron emitter ; reactive ion etching ; electron emission ; thermal field ; W(100)/ZrO Subject RIV JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering R&D Projects ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS) FR-TI1/576 GA MPO - Ministry of Industry and Trade (MPO) Institutional support UPT-D - RVO:68081731 Annotation Hroty pro katody W(100)/ZrO jsou připravovány z monokrystalického wolframového drátku o průměru 125 .mu.m elektrochemickým anodickým leptáním. Pro přípravu katod pro elektronový litograf s tvarovaným svazkem je žádoucí, aby vyleptaný hrot měl poloměr kolem 100 nm. I když je proces anodického leptání kontrolován a řízen speciálním software pomocí počítače, nelze ve všech případech zajistit požadovanou geometrii hrotu po leptám. Opravné anodické leptání již vyleptaného hrotu není z principu samotné technologie leptání možné. V tomto příspěvku uvádíme výsledky studia možností modifikace (opracování) wolframových hrotů v nanorozměrech řízeným plazmatickým leptáním (RIE) ve směsi CF4 + O2 v zařízení s reaktorem barelového typu při buzení plazmatu při frekvenci 13,56 MHz a pracovním tlaku 1000 Pa. Změna geometrie hrotů po plazmatickém leptání je kontrolována rastrovacím elektronovým mikroskopem (REM) vysokého rozlišení V příspěvku jsou uvedeny i výsledky vlivu opracování hrotů hotových aktivovaných katod FE W(100)/ZrO na emisní vlastnosti těchto katod. Description in English The W(100)/ZrO electron emitter tip is typically prepared from a tungsten single-crystal shaft of a diameter of 125 μm using electrochemical anodic etching. In order to prepare an emitter for e-beam writer with a shaped beam it is desirable to etch the tip with a radius around 100 nm. Despite the anodic etching is precisely controlled using dedicated software, the desired final form shape of the emitter tip is not achieved in every case. The correcting anodic etching is not possible due to the technology principle of the etching itself. We present in this contribution the procedure that modifies/repairs the tungsten tip shape in a nanoscale region using a reactive ion etching (RIE) in CF4 + O2 gaseous mix in a barrel type reactor at the radio frequency of 13,56 MHz and the working pressure of 1000 Pa. The change of the geometry after the RIE process is checked using a high resolution scanning electron microscope. The influence of the tip modification of the activated thermal-field W(100)/ZrO electron emitter on its emission characteristics is also presented. Workplace Institute of Scientific Instruments Contact Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Year of Publishing 2013
Number of the records: 1