Kvantitativní studium hustoty rozložení dopantu v polovodiči pomocí emise sekundárních elektronů

Number of the records: 1

1.

SYSNO	0050991
Title	Kvantitativní studium hustoty rozložení dopantu v polovodiči pomocí emise sekundárních elektronů
Title	Quantitative 2D dopant profiling in semiconductor by the secondary electron emission
Author(s)	Mika, Filip (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID}
Source Title	PDS 2006 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronová optika. S. 33-36. - Brno : ÚPT AV ČR, 2006
Conference	PDS 2006, Brno, 19.12.2006
Document Type	Konferenční příspěvek (tuzemská konf.)
CEZ	AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
Language	cze
Keywords	semiconductor structure * doping density * contrast
Permanent Link	http://hdl.handle.net/11104/0140993

Number of the records: 1