Number of the records: 1
Kvantitativní studium hustoty rozložení dopantu v polovodiči pomocí emise sekundárních elektronů
- 1.Mika, Filip
Kvantitativní studium hustoty rozložení dopantu v polovodiči pomocí emise sekundárních elektronů.
[Quantitative 2D dopant profiling in semiconductor by the secondary electron emission.]
PDS 2006 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronová optika. Brno: ÚPT AV ČR, 2006, s. 33-36. ISBN 80-239-7957-4.
[PDS 2006. Brno (CZ), 19.12.2006]
http://hdl.handle.net/11104/0140993
Number of the records: 1