Acquisition of the Angular Distribution of Backscattered Electrons in the Scanning Low Energy Electron Microscope

0050937 - ÚPT 2007 RIV JP eng C - Conference Paper (international conference)
Müllerová, Ilona - Konvalina, Ivo - Pokorná, Zuzana
Acquisition of the Angular Distribution of Backscattered Electrons in the Scanning Low Energy Electron Microscope.
[Snímání úhlového rozdělení zpětně odražených elektronů v rastrovacím nízkoenergiovém elektronovém mikroskopu.]
6th Japanese-Polish Joint Seminar on Materials Analysis. Toyama: University of Toyama, 2006, s. 13-14. ISBN 4-9903248-0-3.
[Japanese-Polish Joint Seminar on Materials Analysis /6./. Toyama (JP), 11.09.2006-13.09.2006]
R&D Projects: GA ČR GA102/05/2327
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : SLEEM * cathode lens * multichannel detector * angular distribution * BSE detection
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

New eight-channel detector for acquisition of the angular distribution of backscattered electrons has been designed and tested. The detector is based on a multi-channel plate followed by eight concentric circular collectors centred to the optical axis. High collection efficiency and high amplification of the detector down to 100 eV of emission energy is secured by action of the cathode lens. In first experiments the detector has proved itself useful for imaging of polycrystalline structures.

Byl navržen a odzkoušen nový osmikanálový detektor pro snímání úhlového rozdělení zpětně odražených elektronů. Detektor je založen na kanálkové destičce, za níž je symetricky vůči optické ose umístěno osm soustředných kruhových detektorů. Vysoká sběrová účinnost a vysoké zesílení detektoru až do 100 eV emisní energie je zajištěno působením katodové čočky. Již v prvních experimentech se detektor osvědčil jako užitečný pro zobrazení polykrystalických struktur.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0140960