Number of the records: 1

SMV-2021-03: Vývoj testovacích preparátů pro REM

SYSNO ASEP	0545142
Document Type	V - Research Report
R&D Document Type	V - Research Report
Title	SMV-2021-03: Vývoj testovacích preparátů pro REM
Title	SMV-2021-03: Development of test specimens for SEM
Author(s)	Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Issue data	Brno: Tescan Brno, s.r.o., 2021
Number of pages	6 s.
Publication form	Print - P
Language	cze - Czech
Country	CZ - Czech Republic
Keywords	relief structure ; e-beam lithography ; silicon etching ; microlithography
Subject RIV	BH - Optics, Masers, Lasers
OECD category	Optics (including laser optics and quantum optics)
Next source	Non-public resources
Annotation	Výzkum, vývoj a realizace rozměrově přesných vzorků s reliéfními strukturami. Vzorky jsou určeny pro kalibraci parametrů rastrovacích elektronových mikroskopů (REM). Motivy struktur umožňují kontrolu a kalibraci zvětšení, pravoúhlosti a geometrického zkreslení. Byly vyvinuty přípravky pro technologické operace depozice a rezistu a pro operace leptání. Optimalizace bylo dosaženo i v oblasti transferu reliéfní struktury do křemíkové podložky při anizotropním leptání, díky modifikacím leptací aparatury. Pro kontrolu a vyhodnocení jakosti čipů mezi jednotlivými technologickými operacemi byly vyvinuty standardizované postupy.
Description in English	Research and development of accurate calibration samples with relief structures. The samples are intended for parameter calibration of scanning electron microscope (SEM). Testing patterns allow to check and calibrate magnification, orthogonality and geometric distortion. New tools for handling during technological operations of resist deposition and etching were developed. Optimization was reached in the process of transfer of the relief structure into silicon via anisotropic etching, due modification of etching apparatus. Standardized procedures for inspection and quality control were developed.
Workplace	Institute of Scientific Instruments
Contact	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Year of Publishing	2022

Number of the records: 1