Number of the records: 1
Time-resolved Langmuir probe diagnostics of a bipolar high power impulse magnetron sputtering discharge
SYS 0533967 LBL 01000a^^22220027750^450 005 20240103224645.0 014 $a 85079530666 $2 SCOPUS 014 $a 000538749400001 $2 WOS 017 70
$a 10.1063/1.5140650 $2 DOI 100 $a 20201104d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a US 200 1-
$a Time-resolved Langmuir probe diagnostics of a bipolar high power impulse magnetron sputtering discharge 215 $a 4 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0256166 $1 011 $a 0003-6951 $e 1077-3118 $1 200 1 $a Applied Physics Letters $v Roč. 116, č. 6 (2020), s. 1-4 $1 210 $c AIP Publishing 608 $a Article 610 $a plasma 610 $a HiPIMS sputtering 610 $a Langmuir probe 700 -1
$3 cav_un_auth*0375512 $a Hippler $b Rainer $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $y DE $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100168 $a Čada $b Martin $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100245 $a Hubička $b Zdeněk $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 856 $u https://doi.org/10.1063/1.5140650 $9 RIV
Number of the records: 1