Interferometrický systém pro měření deformace tenkých membrán

Number of the records: 1

1.

SYSNO	0482753
Title	Interferometrický systém pro měření deformace tenkých membrán
Title	Interferometrical system for bulge test thin film characterization
Author(s)	Pikálek, Tomáš (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Holzer, Jakub (UFM-A)_ORCID Tinoco, H.A. (CO) Buchta, Zdeněk (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID} Lazar, Josef (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlupová, Alice (UFM-A)_{RID, ORCID} Náhlík, Luboš (UFM-A)_{RID, ORCID} Sobota, Jaroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Fořt, Tomáš (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Kruml, Tomáš (UFM-A)_{RID, ORCID}
Source Title	Sborník příspěvků multioborové konference LASER57. S. 39-40. - Brno : Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2017 / Růžička Bohdan
Conference	LASER57, 08.11.2017 - 10.11.2017, Třešť
Document Type	Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Grant	ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS)
	LO1212 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS), CZ - Czech Republic
Institutional support	UPT-D - RVO:68081731 ; UFM-A - RVO:68081723
Language	cze
Country	CZ
Keywords	interferometry * thin layers
Cooperating institutions	Ústav fyziky materiálů AV ČR (Czech Republic)
Permanent Link	http://hdl.handle.net/11104/0278470

Number of the records: 1