Number of the records: 1
Interferometrický systém pro měření deformace tenkých membrán
- 1.
SYSNO ASEP 0482753 Document Type C - Proceedings Paper (int. conf.) R&D Document Type Conference Paper Title Interferometrický systém pro měření deformace tenkých membrán Title Interferometrical system for bulge test thin film characterization Author(s) Pikálek, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Holzer, Jakub (UFM-A) ORCID
Tinoco, H.A. (CO)
Buchta, Zdeněk (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Chlupová, Alice (UFM-A) RID, ORCID
Náhlík, Luboš (UFM-A) RID, ORCID
Sobota, Jaroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Fořt, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Kruml, Tomáš (UFM-A) RID, ORCIDNumber of authors 10 Source Title Sborník příspěvků multioborové konference LASER57. - Brno : Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2017 / Růžička Bohdan - ISBN 978-80-87441-21-3 Pages s. 39-40 Number of pages 2 s. Publication form Print - P Action LASER57 Event date 08.11.2017 - 10.11.2017 VEvent location Třešť Country CZ - Czech Republic Event type EUR Language cze - Czech Country CZ - Czech Republic Keywords interferometry ; thin layers Subject RIV BH - Optics, Masers, Lasers OECD category Optics (including laser optics and quantum optics) Subject RIV - cooperation Institute of Physics of Materials - Solid Matter Physics ; Magnetism R&D Projects ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS) LO1212 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS) Institutional support UPT-D - RVO:68081731 ; UFM-A - RVO:68081723 Annotation Mechanické vlastnosti tenkých vrstev se mohou výrazně lišit od běžných materiálů. Příkladem metody pro jejich měření je například nanoindentace založená na zatlačování miniaturního hrotu do materiálu. Jinou metodou je tzv. bulge test, který je založen na určení mechanických vlastností (obvykle Youngova modulu a reziduálního napětí) samonosných tenkých vrstev (membrán) z jejich deformace při aplikování diferenčního tlaku z jedné jejich strany. Pro měření tvaru membrán během tohoto bulge testu byl vyvinut interferometrický systém. Description in English Behavior of thin film materials undergoing stress and deformation differs from bulk materials. A common method for the mechanical characterization of thin films is nanoindentation based on indenting a small tip into the material. A different approach is a bulge test technique. In this method, a differential pressure is applied on a free-standing membrane and the mechanical properties (Young’s modulus and residual stress) are calculated from the shape of the bulged membrane. In our experiments, we developed an interferometrical system for the membrane shape measurement during the bulge test. Workplace Institute of Scientific Instruments Contact Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Year of Publishing 2018
Number of the records: 1