Number of the records: 1
Plazmochemické leptání křemíku v zařízení Diener nano
- 1.Urbánek, Michal - Krátký, Stanislav - Matějka, Milan - Kolařík, Vladimír - Horáček, Miroslav
Plazmochemické leptání křemíku v zařízení Diener nano.
[Plasmochemical Etching of Silicon in Diener Nano Device.]
Chemické listy. Roč. 108, č. 6 (2014), s. 592-595. ISSN 0009-2770. E-ISSN 1213-7103
Impact factor: 0.272, year: 2014
http://hdl.handle.net/11104/0234865
Number of the records: 1