Number of the records: 1
Plazmochemické leptání křemíku v zařízení Diener nano
- 1.URBÁNEK, Michal, KRÁTKÝ, Stanislav, MATĚJKA, Milan, KOLAŘÍK, Vladimír, HORÁČEK, Miroslav. Plazmochemické leptání křemíku v zařízení Diener nano. Chemické listy. 2014, 108(6), 592-595. ISSN 0009-2770. E-ISSN 1213-7103.
Number of the records: 1