Number of the records: 1
Mass spectrometric characterizations of ions generated in RF magnetron discharges during sputtering of silver in Ne, Ar, Kr and Xe gases
SYS 0397579 LBL 02726^^^^^2200409^^^450 005 20240103203123.3 014 $a 000322371700002 $2 WOS 017 70
$a 10.1002/ppap.201200145 $2 DOI 100 $a 20131021d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a DE 200 1-
$a Mass spectrometric characterizations of ions generated in RF magnetron discharges during sputtering of silver in Ne, Ar, Kr and Xe gases 215 $a 10 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0420447 $1 011 $a 1612-8850 $e 1612-8869 $1 200 1 $a Plasma Processes and Polymers $v Roč. 10, č. 7 (2013), s. 593-602 $1 210 $c Wiley 610 0-
$a double charge ions 610 0-
$a mass spectrometry 610 0-
$a noble gas 610 0-
$a RF magnetron discharges 610 0-
$a silver 610 0-
$a single charge ions 700 -1
$3 cav_un_auth*0207525 $a Pokorný $b D. $y DE $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0100418 $a Novotný $b Michal $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100398 $a Musil $b Jindřich $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0252234 $a Fitl $b Přemysl $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100150 $a Bulíř $b Jiří $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100346 $a Lančok $b Ján $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Number of the records: 1