Number of the records: 1

Úprava držáku pro galvanické pokovování mikroelektromechanických systémů.

SYSNO	0499076
Title	Úprava držáku pro galvanické pokovování mikroelektromechanických systémů.
Title	Modification of holder for electroplating of microelectromechanical systems.
Author(s)	Maňka, Tadeáš (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Šerý, Mojmír (UPT-D)_{RID, SAI}
Issue data	2018
Subspecies	Functional Specimen
Int.Code	APL-2018-15
Technical parameters	Funkční vzorek je určen pro galvanické pokovování vodivých vzorků s rozměry 36x36 mm. Většina komponent je vyrobena z ABS plastu na 3D tiskárně. Aparatura je vybavena držákem substrátu sloužícím pro pokovení pouze jedné strany vzorku. Pro připojení elektrického napětí slouží soustava čtyř pružin, které přitlačují vzorek k elektrodě a zajištují tím elektrický kontakt.
Economic parameters	Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Tadeáš Maňka, manka@isibrno.cz
Owner Name	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no.,	APL-2018-15
Document Type	Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor
Grant	LO1212 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS), CZ - Czech Republic
Institutional support	UPT-D - RVO:68081731
Language	cze
Country	CZ
Keywords	electroplating holder * electroplating of silicon wafers
Permanent Link	http://hdl.handle.net/11104/0291359

Number of the records: 1