Number of the records: 1
Kombinace elektronové litografie s gaussovským svazkem a s proměnným tvarovaným svazkem
- 1.
SYSNO 0452395 Title Kombinace elektronové litografie s gaussovským svazkem a s proměnným tvarovaným svazkem Title Combination of electron lithography with Gaussian and shaped beams Author(s) Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Urbánek, Michal (UPT-D) RID
Chlumská, Jana (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Meluzín, Petr (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Horáček, Miroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAISource Title Jemná mechanika a optika. Roč. 60, č. 1 (2015), s. 10-13. - : Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Document Type Článek v odborném periodiku Grant LO1212 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS), CZ - Czech Republic Institutional support UPT-D - RVO:68081731 Language cze Country CZ Keywords e-beam writer * Gausssian beam * variable shaped beam Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0253409
Number of the records: 1