Optimalizace přípravy mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusvaného iontového svazku

0332796 - ÚFM 2010 RIV CZ cze K - Conference Paper (Czech conference)
Kuběna, Ivo - Kruml, Tomáš
Optimalizace přípravy mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusvaného iontového svazku.
[Optimization of preparation of microcompresion specimens from thin films films using focused ion beam.]
Víceúrovňový design pokrokových materiálů - 2009. Sborník doktorské konference.. Brno: Ústav fyziky materiálů AV ČR, 2009 - (Dlouhý, I.; Švejcar, J.; Mojmír, Š.), s. 95-103. ISBN 978-80-254-6070-2.
[Víceúrovňový design pokrokových materiálů ´09. Brno (CZ), 03.12.2009]
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20410507
Keywords : focused ion beam * thin film * microcompresion
Subject RIV: JJ - Other Materials

Tento článek popisuje novou metodou měření mechanických vlastností tenkých vrstev, která kombinuje kompresní test pomocí nanoindentoru a přípravu vzorků pomocí fokusovaných iontových svazků. Článek je především zaměřen na popis přípravy mikrokompresních vzorků. Experimenty byly prováděny na tenké vrstvě Al – 1,5 hm.% Cu. Připravené válcové pilířky měly průměr cca 1,3 mikrometrů a jejich výška je dána tloušťkou vrstvy (2 mikrometry). Byl nalezen optimalizovaný postup přípravy mikrokompresních vzorků jak z hlediska požadované geometrie, tak z hlediska časové náročnosti přípravy. Popsaný postup přípravy vede k reprodukovatelnému tvaru pilířků. Úspěšně provedené kompresní zkoušky potvrdily vhodnost takto připravených vzorků pro mikrokompresní zkoušku.

In this paper new method of mechanical properties measurement of thin films is presented. This method combines preparation of specimen using focused ion beam and compressive test by nanoindenter. This paper is focused on description of the preparation microcompressive specimens. The thin film Al – 1.5 wt. % Cu was studied. The cylindrical pillars had diameter about 1.3 micrometers and their height was determined by thickness of layer (2 micrometers). The optimized reproducible process of the preparation of the microcompressive specimens was found. This process is optimized from geometry and preparation time point of view. Successfully executed compressive tests confirmed suitability specimens for microcompressive test
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0177936