Možnosti zobrazení dopovaných křemíkových struktur v PEEM a LVSEM

Number of the records: 1

1.

SYSNO	0308431
Title	Možnosti zobrazení dopovaných křemíkových struktur v PEEM a LVSEM
Title	Imaging of doped silicon structures using PEEM and LVSEM
Author(s)	Hovorka, Miloš (UPT-D) Mika, Filip (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID} Frank, Luděk (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID}
Source Title	Mikroskopie 2008. S. 21. - Praha : Československá mikroskopická společnost, 2008 / Frank Luděk
Conference	Mikroskopie 2008, Nové Město na Moravě, 07.02.2008-08.02.2008
Document Type	Konferenční příspěvek (tuzemská konf.)
CEZ	AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
Language	cze
Country	CZ
Keywords	dopants * PEEM * SEM * silicon
Permanent Link	http://hdl.handle.net/11104/0160916

Number of the records: 1