0100037 - FZU-D 20040013 RIV CZ cze J - Journal Article
Mates, Tomáš - Fejfar, Antonín - Drbohlav, Ivo - Rezek, Bohuslav - Fojtík, Petr - Luterová, Kateřina - Pelant, Ivan - Kočka, Jan
Studium struktury a růstu nizkoteplotního protokrystalického křemíku pomocí AFM mikroskopu.
[Influence of film thickness, silane concentration and substrate temperature on structure and electrical properties of thin film protocrystalline silicon.]
Československý časopis pro fyziku. Roč. 53, - (2003), s. 93-96. ISSN 0009-0700
R&D Projects: GA AV ČR IAA1010809; GA AV ČR IAB2949101
Institutional research plan: CEZ:AV0Z1010914
Keywords : PECVD * microcrystalline silicon * AFM
Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0007545