Úhlově citlivý detektor pomalých zpětně odražených elektronů

0096520 - ÚPT 2008 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Mika, Filip
Úhlově citlivý detektor pomalých zpětně odražených elektronů.
[Angular sensitive detector of low energy electrons.]
Internal code: 5532 ; 2006
Technical parameters: Polohově nastavitelný detekční systém na bázi krystalu YAG.
Economic parameters: Nelze přesně stanovit.
R&D Projects: GA ČR GA102/05/2327
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : low energy electrons * scanning electron microscope
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

Polohově nastavitelný detektor, který využívá modifikované uspořádání s katodovou čočkou k detekci signálních elektronů opouštějících vzorek pod určitým emisním úhlem.

The detector with finely adjustable lateral position is, with cathode lens, used for detection of signál electrons with different emission angles.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0155869