The Scanning Low Energy Electron Microscopy (SLEEM) Mode in SEM

0044288 - ÚPT 2007 RIV US eng J - Journal Article
Frank, Luděk - Müllerová, Ilona
The Scanning Low Energy Electron Microscopy (SLEEM) Mode in SEM.
[Režim rastrovací nízkoenergiové elektronové mikroskopie (SLEEM) v REM.]
Microscopy and Microanalysis. Roč. 12, Suppl. 2 (2006), s. 152-153. ISSN 1431-9276. E-ISSN 1435-8115
R&D Projects: GA ČR GA202/04/0281
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : SEM * low energy electrons * SLEEM
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
Impact factor: 2.108, year: 2006

The scanning low energy electron microscopy (SLEEM) mode, employing the cathode lens for retardation of the primary beam just in front of the sample surface, is presented together with results of selected demonstration experiments.

Režim rastrovací nízkoenergiové elektronové mikroskopie (SLEEM), využívající katodovou čočku ke zpomalení primárního svazku bezprostředně před povrchem preparátu, je popsán spolu s výsledky vybraných demonstračních experimentů.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0137111