Number of the records: 1
ECWR plazma zdroj
- 1.
SYSNO 0552141 Title ECWR plazma zdroj Title ECWR plasma source Author(s) Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Tvarog, Drahoslav (FZU-D) ORCID
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Poruba, A. (CZ)
Dolák, J. (CZ)Issue data 2021 Subspecies Functional Specimen Int.Code FVMF3/FZU/2021 Technical parameters Vnější průměr vstupní části ECWR zdroje: 6 mm Vnitřní průměr vstupní části ECWR zdroje: 4 mm Vnější průměr pracovní části ECWR zdroje: 25 mm Vnitřní průměr pracovní části ECWR zdroje: 23 mm Economic parameters Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum Owner Name Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no., FVMF3/FZU/2021 Document Type Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor Grant TM01000039 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR), CZ - Czech Republic Institutional support FZU-D - RVO:68378271 Language cze Country CZ Keywords electron cyclotron wave resonance * minimal Fab * low-temperature plasma * ALD * RF plasma Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0327313
Number of the records: 1