Number of the records: 1
ECWR plazma zdroj
- 1.0552141 - FZÚ 2022 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Čada, Martin - Tvarog, Drahoslav - Hubička, Zdeněk - Poruba, A. - Dolák, J.
ECWR plazma zdroj.
[ECWR plasma source.]
Internal code: FVMF3/FZU/2021 ; 2021
Technical parameters: Vnější průměr vstupní části ECWR zdroje: 6 mm Vnitřní průměr vstupní části ECWR zdroje: 4 mm Vnější průměr pracovní části ECWR zdroje: 25 mm Vnitřní průměr pracovní části ECWR zdroje: 23 mm
Economic parameters: Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TM01000039
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : electron cyclotron wave resonance * minimal Fab * low-temperature plasma * ALD * RF plasma
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0327313
Number of the records: 1