Number of the records: 1

Manipulátor s mikrometrickým posuvem pro miniaturizovaný spektrometr sekundárních elektronů

SYSNO ASEP	0550826
Document Type	L - Prototype, Functional Specimen
R&D Document Type	Prototype, Functional Specimen
RIV Subspecies	Functional Specimen
Title	Manipulátor s mikrometrickým posuvem pro miniaturizovaný spektrometr sekundárních elektronů
Title	Manipulator with micrometric shift for a miniaturised secondary electron spectrometer
Author(s)	Mika, Filip (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID} Pokorná, Zuzana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Dupák, Libor (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Year of issue	2021
Int.Code	APL-2021-06
Technical parameters	Manipulátor držáku vzorku tvaru pravidelného osmihranu, kde pojezdy jsou realizovány formou tří bronzových pružin. Ty svírají mezi sebou úhel 120°, přičemž umožňují posun v rozsahu +- 1mm s přesností 10μm v každé ose nezávisle.
Economic parameters	Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Filip Mika, Ph.D., fumici@isibrno.cz.
Owner Name	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Registration Number of the result owner	68081731
Applied result category by the cost of its creation	A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč
License fee fee	A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek
Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no.,	APL-2021-06
Language	cze - Czech
Country	CZ - Czech Republic
Keywords	manipulator ; scanning electron microscope ; secondary electron spectrometer
Subject RIV	JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
OECD category	Materials engineering
R&D Projects	TN01000008 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR)
Institutional support	UPT-D - RVO:68081731
Annotation	Manipulátor je součástí pozorovací komory miniaturizovaného spektrometru sekundárních elektronů, tak aby díky němu nebyla omezena zkoumaná oblast polovodičového vzorku na velikost aktuálního zorného pole elektronového mikroskopu. Je tak možné mapovat velké plochy dopovaných struktur na vzorku a rovněž zacílit oblast zájmu pod primární svazek elektronů.
Description in English	The manipulator is a part of the observation chamber of the miniaturised secondary electron spectrometer, allowing it to observe an arbitrarily large area of the sample without field of view limitations imposed by the narrow entrance aperture of the spectrometer. Thanks this it is possible to map doped structures on a large scale and also to move any area of interest under the incoming electron beam with great precision.
Workplace	Institute of Scientific Instruments
Contact	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Year of Publishing	2022

Number of the records: 1