Nástavec objektivové čočky s deflektory optimalizovaný pro tubus NiCol

0550698 - ÚPT 2022 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Vašina, R. - Seďa, B. - Oral, Martin - Radlička, Tomáš
Nástavec objektivové čočky s deflektory optimalizovaný pro tubus NiCol.
[Extender for NiCOl column with deflectors.]
Internal code: APL-2021-13 ; 2021
Technical parameters: Extender je prstenec s upínacím mechanismem, který se umístí na spodní pól objektivové čočky skenovacího elektronového mikroskopu. Extender je vyroben z magneticky vodivého materiálu – permalloy Ni48. Pomocí extenderu se změní parametry magnetického imerzního pole objektivové čočky: maximální magnetická indukce a poloha tohoto maxima.Vedle změny parametrů magnetické finální čočky se také změní vlastnosti elektrostatické finální čočky. Tento prstenec je navíc vybaven deflekčními poli, pomocí nichž můžeme ovlivňovat trajektorie signálních elektronů. Pomocí extenderu je možné získat lepší laterální rozlišení a změnu v akceptaci signálních elektronů na detektorech umístěných v tubusu mikroskopu.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D., radlicka@isibrno.cz.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : scanning electron microscope * compound objective lens * acceptance of signal electrons * secondary electrons * resolution * immersion field
OECD category: Electrical and electronic engineering

Extender pro objektivovou čočku s deflektorem mění magnetické a elektrostatické v blízkosti vzorku, čímž ovlivňuje trajektorie primárních a signálních elektronů. Oproti jednoduchým extenderům je tento vybavený deflekčním polem, které umožňuje vychýlit signální elektrony na detektor a tím zvýšit účinnost detekčního systému.

Objective lens extender equipped with a deflector changes magnetic and electrostatic fields in the objective lens regions which influences the trajectories of the primary and signal electrons. This extender is equipped with a deflector which enables deflecting of the signal electrons to the detector to increase detection efficiency.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0326003