Number of the records: 1
Optimalizovaný surfatronový plazmový zdroj pro PE-ALD systém
- 1.
SYSNO 0537056 Title Optimalizovaný surfatronový plazmový zdroj pro PE-ALD systém Title Optimized surfatron plasma source for PE-ALD deposition system Author(s) Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Tvarog, Drahoslav (FZU-D) ORCID
Kapran, Anna (FZU-D) ORCID
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Poruba, A. (CZ)
Dolák, J. (CZ)Issue data 2020 Subspecies Functional Specimen Int.Code FVMF1/FZU/2020 Technical parameters Vnější průměr křemenné trubičky: 6 mm, vnitřní průměr křemenné trubičky: 4 mm, výstupní tryska: kónická tryska, typ surfatron: mosazný rezonátor typu SAIREM s integrovanou přizpůsobovací jednotkou. Economic parameters Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum Owner Name Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no., FVMF1/FZU/2020 Document Type Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor Grant TM01000039 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR), CZ - Czech Republic Institutional support FZU-D - RVO:68378271 Language cze Country CZ Keywords microwave surfatron * MinimalFab * low-temperature plasma * ALD * RF plasma Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0314808
Number of the records: 1