Number of the records: 1
Optimalizovaný surfatronový plazmový zdroj pro PE-ALD systém
- 1.
SYSNO ASEP 0537056 Document Type L - Prototype, Functional Specimen R&D Document Type Prototype, Functional Specimen RIV Subspecies Functional Specimen Title Optimalizovaný surfatronový plazmový zdroj pro PE-ALD systém Title Optimized surfatron plasma source for PE-ALD deposition system Author(s) Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Tvarog, Drahoslav (FZU-D) ORCID
Kapran, Anna (FZU-D) ORCID
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Poruba, A. (CZ)
Dolák, J. (CZ)Year of issue 2020 Int.Code FVMF1/FZU/2020 Technical parameters Vnější průměr křemenné trubičky: 6 mm, vnitřní průměr křemenné trubičky: 4 mm, výstupní tryska: kónická tryska, typ surfatron: mosazný rezonátor typu SAIREM s integrovanou přizpůsobovací jednotkou. Economic parameters Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum Owner Name Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Registration Number of the result owner 68378271 Applied result category by the cost of its creation A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč License fee fee Z - Poskytovatel licence nepožaduje v některých případech licenční poplatek Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no., FVMF1/FZU/2020 Language cze - Czech Country CZ - Czech Republic Keywords microwave surfatron ; MinimalFab ; low-temperature plasma ; ALD ; RF plasma Subject RIV BL - Plasma and Gas Discharge Physics OECD category Fluids and plasma physics (including surface physics) R&D Projects TM01000039 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) Institutional support FZU-D - RVO:68378271 Annotation V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli a implementovali mikrovlnný tryskový zdroj plazmatu ve dvou uspořádáních nazývaný surfatron vhodný pro použití v MinimalFab systému. Charakterizace generovaného plazmatu prokázala, že surfatronový zdroj plazmatu je schopný generovat nízkoteplotní plazma v rozsahu tlaků 1 Pa až 200 Pa. Dále pak lze provozovat plazmový zdroj v čistém inertním plynu, kyslíku, dusíku nebo jejich směsích. Description in English Within the TAČR project, we developed and implemented a microwave plasma-jet source in two configurations called a surfatron suitable for use in the Minimal Fab system. Characterization of the generated plasma showed that the surfatron plasma source is able to generate low-temperature plasma in the pressure range of 1 Pa to 200 Pa. Furthermore, the plasma source can be operated in pure inert gas, oxygen, nitrogen or mixtures thereof. Workplace Institute of Physics Contact Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Year of Publishing 2021
Number of the records: 1